表面科学与薄膜技术基础
作 者：张永平
出 版 社：科学出版社
出版时间：2022年10月
定 价：98.00
I S B N ：9787030731289
所属分类： 专业科技 > 工业技术 > 一般工业技术
标 签：
现代半导体技术和先进材料研发的进步，促进薄膜材料和制备技术快速发展，要求薄膜制备技术和薄膜结构有精细控制，需要了解表面与薄膜方面的基本物理知识。本书着重介绍表面与薄膜相关的基本概念、基本原理，帮助理解掌握薄膜技术的基本知识，为工作和科研打下良好基础。本书内容包括真空物理基础、表面科学基础、薄膜物理基础、薄膜生长技术、薄膜结构、表面和薄膜分析技术，以及几种常见的薄膜材料。
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