微机电系统基础

本书循序渐进，体系严密,共分16章。第1-2章概括了基本传感原理和制造方法；第3章讨论了当今MEMS实践中所必须掌握的电学和机械工程基本知识；第4-9章分别描述了静电，热，压阻，压电，磁敏感与执行方法，及其相关的传感器与执行器；第10-11章详细介绍了微制造中最常用的体微机械加工和表面微机械加工技术，而器件制造方法则插入到实例研究中；第12章讨论了与聚合物有关的MEM制造技术；根据这些敏感与执行方法以及制造方法，第13-15章选择了MEMS主要应用领域作为实例介绍，包括微流控应用，用于扫描探针显微术的器件，光MEMS。第16章介绍了工艺集成问题和项目管理问题。
本书适合于微机电系统，微电子，机械工程，仪器(仪)表等专业的高年级本科生作为教材，也适合于这些领域的研究生及科技人员参考。
本书循序渐进，体系严密，在内容组织上是一本教科书，已被美国一些著名大学采用。全书共分16章。第1、2章概括了基本传感原理和制造方法；第3章讨论了当今MEMS实践中所必须掌握的电学和机械工程基本知识；第4～9章分别描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与执行方法，及其相关的传感器与执行器；第10—11章详细介绍了微制造中最常用的体微机械加工和表面微机械加工技术，而器件制造方法则插入到实例研究中；第12章讨论了与聚合物有关的。MEMS制造技术；根据这些敏感与执行方法以及制造方法，第13一15章选择了MEMS主要应用领域作为实例介绍，包括微流控应用、用于扫描探针显微术的器件、光MEMS。第16章介绍了工艺集成问题和项目管理问题。
本书适合于微机电系统（MEMS）、微电子、机械工程、仪器仪表等专业的高年级本科生作为教材，也适合于这些领域的研究生及科技人员参考。

Chang Liu（刘昶）于1995年在美国加州理工学院获博士学位。1996年在美国伊利诺斯大学微电子实验室作博士后，1997年成为伊利诺斯大学电气与计算机工程系和机械与工业工程系联合任命的助理教授，2003年获得终身职位并任副教授。
Chang Liu在微机电系统MEMS领域研究已经14年，发表120余篇国际期刊论文及会议论文．他的研究工作被广泛引用。他为本科生和研究生开设了多门课程，包括MEMS、固体电子学、机电学和传热学。他因利用MEMS技术开发人工毛发细胞方面的工作．于1 998年获得美国国家科学基金会的ICAREER奖。他目前担任国际期刊JMEMS的编委和IEEE SenIsors Journal的副主编以及IEEE MEMS，IEEE Sensors等多种国际会议程序委员会委员。

第1章 绪论
1.0 预览
1.1 MEMS研究发展史
1.2 MEMS的本质特征
1.3 器件：传感器和执行器
总结
习题
参考文献
第2章 微制造导论
2.0 预览
2.1 微制造综述
2.2 微电子制造工艺
2.3 硅基MEMS工艺
2.4 新材料和新制造工艺
2.5 工艺中需考虑的因素
总结
习题
参考文献
第3章 电学与机械学基本概念
第3章 电学与机械学基本概念
第4章 静电敏感与执行原理
第5章 热敏感与执行原理
第6章 压阻传感器
第7章 压电敏感与执行原理
第8章 磁执行器
第9章 敏感与执行原理总结
第10章 体微机械加工与硅各向异性腐蚀
第11章 表面微机械加工
第12章 聚合物MEMS
第13章 微流控学应用
第14章 扫描探针显微镜部件
第15章 光MEMS
第16章 MEMS技术组织与管理
附录